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利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子......
本文建立了不考虑电压上升时间的均匀脉冲放电预电离条件,所得结果和前人的实验数据符合较好,修正了前人的研究成果。......